客户的挑战

在巨大的市场压力下,ASM PT 需要将其搭载颠覆性技术的原型机尽快转化为上市产品:一个全自动的、高度精准定位和开槽/切割精准度(< ± 1µm)的12”晶圆划片机 。苏科思被要求与 VDL ETG 一同合作开发一种先进的激光诱导亚表面分离技术(ALISS)。

苏科思的贡献

苏科思作为重要合作伙伴参与,机电一体化、机械、光学、电子和软件部分都在内部完成。5个新的机电一体化模块被添加到原型12'控制软件(Thor)中。为此更改了Thor架构的每一层(I/O层、系统层和控制/应用层): 晶圆高度映射、配方解析和切割轨迹计算、轮廓映射、使用轴上和轴外摄像机的晶圆对准以及激光控制应用。

成果

新机器的上市,使ASM PT可以提供加工时间最短(保持高达500mm/s的切割速度)和灵活性更高的激光切割和开槽系统,从而尽可能地降低了客户的成本。

所用技术

计算机视觉、传感处理、C++、可视化组件库(VCL)、Python 和传输控制协议/互联网协议。

Model.Name

ASM PT 是激光切割的发明者, 也是半导体行业世界领先的激光切割系统供应商。该工艺基于独特的多束激光切割技术,具有极低的热影响和极高的生产率。